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        超纯氢气纯化设备


        在吸气工序前采用两塔吸附工序对原料进行预处理脱除原料中的多量O2、H2O等杂质,进行深度纯化。


        特点:
        先进的工艺材料,全自动氩弧?#38468;?#20928;施工;
        设备全自动运行,C级防爆,先进的控制系统,HMI(人机界面),完善报警系统,可靠性能高;
        吸气剂使用寿命更长。
        完善的远程监控系统,可远程诊断,反应迅速。


        应用领域:
        LED、SOI、IC、PV、光电生产等领域气体纯化。

         
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          [email protected] 2014 Dalian ZhongDing Chemical Co., Ltd.
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