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        氩、氦气体纯化设备


        在吸气工序前采用两塔吸附工序对原料进行预处理,通过非消耗型填料,脱除原料中的O2、H2O、CO2等杂质。


        特点:
        先进的工艺材料,全自动氩弧?#38468;?#20928;施工;
        设备全自动运行,C级防爆,先进的控制系统,HMI(人机界面),完善报警系统,可靠性能高;
        吸气剂使用寿命更长。
        完善的远程监控系统,可远程诊断,反应迅速。


        应用领域:
        LED、SOI、IC、PV、光电生产等领域气体纯化。

         
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          [email protected] 2014 Dalian ZhongDing Chemical Co., Ltd.
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